Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices

Title: Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices
Authors: D.T. Huong Giang
N.H. Duc
G. Agnus
T. Maroutian
P. Lecoeur
Keywords: Piezoelectric;Clampedeclamped beam;String based MEMS;CeV characteristics;Optical interferometer profiler
Issue Date: 2016
Publisher: ĐHQGHN
URI: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/58322
String based MEMS devices recently attract world technology development thanks to their advantages over cantilever ones. Approaching to this direction, the paper reports on the micro-fabrication and characterization of free-standing doubly clamped piezoelectric beams based on heterostructures of Pd/ FeNi/Pd/PZT/LSMO/STO/Si. The displacement of strings is investigated in both static and dynamic mode. The static response exhibits a bending displacement as large as 1.2 am, whereas the dynamic response shows a strong resonance with a high quality factor of around 35 depending on the resonant mode at atmospheric pressure. These findings are comparable with those observed in large dimension membrane and cantilever based MEMS devices, which exhibit high potentials in variety of sensor and resonant actuator applications

Nhận xét

Đăng nhận xét

Bài đăng phổ biến từ blog này

Thành lập bản đồ hiện trạng các thành phần của hệ sinh thái thuộc huyện Kim Bôi, tỉnh Hòa Bình phục vụ cho công tác phát triển bền vững

Title:  Thành lập bản đồ hiện trạng các thành phần của hệ sinh thái thuộc huyện Kim Bôi, tỉnh Hòa Bình phục vụ cho công tác phát triển bền vững : Đề tài NCKH. QT-04-14 Authors:  Đoàn, Hương Mai Keywords:  Bản đồ sinh thái;Hoà Bình;Kim Bôi;Phát triển bền vững;Sinh thái học Issue Date:  2004 Publisher:  H. : ĐHQGHN Abstract:  Giới thiệu phương pháp nghiên cứu, kết quả nghiên cứu về điều kiện tự nhiên, tài nguyên: Vị trí địa lý, địa hình, khí hậu thời tiết, tài nguyên nước, tài nguyên đất, thảm thực vật và động vật, tài nguyên nhân văn và cảnh quan môi trường. Đi sâu nghiên cứu hiện trạng các hệ sinh thái thuộc huyện Kim Bôi: Các hệ sinh thái trên cạn, hệ sinh thái nước ngọt. Từ đó thành lập bản đồ hiện trạng các thành phần của hệ sinh thái thuộc huyện Kim Bôi, tỉnh Hòa Bình phục vụ cho công tác phát triển bền vững. Description:  36 tr. URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/19153 Appears in Collections: Đề tài cấp ĐHQGHN và Quốc gia (LIC)
Đọc thêm

random noise;capacitance signal;DLTS measurement

Title:  A new method for separation of randow noise from capacitance signal in dlts measurement Authors:  Hoang, Nam Nhat Pham, Quoc Trieu Keywords:  random noise;capacitance signal;DLTS measurement Issue Date:  2002 Publisher:  H. : ĐHQGHN Series/Report no.:  Vol. 18;No. 2 (2002) Abstract:  We introduce a new statistical method for separation of random noise from capacitance signal in DLTS measurement. Description:  p. 32-39 URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/58437
Đọc thêm

Quan hệ giữa con người và tự nhiên trong sự phát triển bền vững ở Việt Nam hiện nay

Title:  Quan hệ giữa con người và tự nhiên trong sự phát triển bền vững ở Việt Nam hiện nay Authors:  Nguyễn, Thị Thuý Hằng Keywords:  Nhân loại;Phát triển bền vững;Quan hệ nhân quả;Triết học Mác-Lênin Issue Date:  2006 Publisher:  Đại học Quốc gia Hà Nội Citation:  97 tr. URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/16487 Appears in Collections: Luận văn - Luận án (LIC)
Đọc thêm