Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices

Title: Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices
Authors: D.T. Huong Giang
N.H. Duc
G. Agnus
T. Maroutian
P. Lecoeur
Keywords: Piezoelectric;Clampedeclamped beam;String based MEMS;CeV characteristics;Optical interferometer profiler
Issue Date: 2016
Publisher: ĐHQGHN
URI: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/58322
String based MEMS devices recently attract world technology development thanks to their advantages over cantilever ones. Approaching to this direction, the paper reports on the micro-fabrication and characterization of free-standing doubly clamped piezoelectric beams based on heterostructures of Pd/ FeNi/Pd/PZT/LSMO/STO/Si. The displacement of strings is investigated in both static and dynamic mode. The static response exhibits a bending displacement as large as 1.2 am, whereas the dynamic response shows a strong resonance with a high quality factor of around 35 depending on the resonant mode at atmospheric pressure. These findings are comparable with those observed in large dimension membrane and cantilever based MEMS devices, which exhibit high potentials in variety of sensor and resonant actuator applications

Nhận xét

Đăng nhận xét

Bài đăng phổ biến từ blog này

Nghiên cứu phân lập và định lượng cryptotanshinon từ cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.) phục vụ công tác đánh giá chất lượng dược liệu đan sâm Cryptotanshinon;Cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.);Dược học

Title:  Nghiên cứu phân lập và định lượng cryptotanshinon từ cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.) phục vụ công tác đánh giá chất lượng dược liệu đan sâm Authors:  Đặng, Thị Ngần Keywords:  Cryptotanshinon;Cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.);Dược học Issue Date:  2017 Publisher:  H. : ĐHQGHN, Khoa Y - Dược Abstract:  Chiết xuất, phân lập và xác minh cấu trúc cryptotanshinon từ rễ đan sâm thu hái ở Lào Cai, đồng thời xây dựng và thẩm định được phương pháp phân tích cryptotanshinon sử dụng HPLC. Description:  63 tr. URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/55106
Đọc thêm

Ảnh hưởng của môi trường dinh dưỡng đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp Poly (3-Hydroxybutyrate) của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199

Title:  Ảnh hưởng của môi trường dinh dưỡng đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp Poly (3-Hydroxybutyrate) của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199 Authors:  Doan Van, Thuoc Luu Thi, Hoi Keywords:  polyhydroxyalkanoate;poly(hydroxybutyrate);polymer;vi khuẩn ưa mặn;Yangia sp. NĐ199 Issue Date:  2015 Publisher:  ĐHQGHN Series/Report no.:  Tập 31, Số2 (2015) 67-74; URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/943 Trong nghiên cứu này sự ảnh hưởng của các yếu tố dinh dưỡng nhưKH2PO4, MgSO4 và cao nấm men đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp poly(3-hydroxybutyrate) (PHB) của chủng vi khuẩn Yangiasp. NĐ199 đã được lần lượt nghiên cứu. Kết quả nghiên cứu chỉ ra rằng nồng độ 0.85 g/l MgSO4, 0.55 g/l KH2PO4, và 1.5 g/l cao nấm men là điều kiện dinh dưỡng phù hợp cho sự sinh trưởng và sinh tổng hợp PHB của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199. Ở điều kiện này khối lượng tế bào khô khoảng 5 g/l với hàm lượng PHB khoảng 77.5% đã đạt được sau 48 h nuôi cấy trên ...
Đọc thêm

Một số hợp chất flavonoid phân lập từ lá cây dâu (Morus alba L.) thu hái tại tỉnh Thái Nguyên

Title:  Một số hợp chất flavonoid phân lập từ lá cây dâu (Morus alba L.) thu hái tại tỉnh Thái Nguyên Authors:  Vũ, Đức Lợi Đỗ, Thị Nghĩa Tình Bùi, Thị Xuân Vũ, Kiều Oanh Trịnh, Nam Trung Keywords:  Lá dâu;Morus alba;Kaempferol 3-O-β-D-glucopyranosid;Quercetin -O-α-L-rhamnopyranosid Issue Date:  2017 Publisher:  H. : ĐHQGHN Series/Report no.:  Vol. 33;No. 1 Abstract:  Từ lá của cây dâu (Morus alba L.) thu hái ở tỉnh Thái Nguyên, trên cơ sở sử dụng các phương pháp sắc kí đã phân lập được hai hợp chất flavonoid. Cấu trúc hóa học của hai hợp chất này được xác định là Kaempferol 3-O-β-D-glucopyranosid (1) và Quercetin -O-α-Lrhamnopyranosid (2) dựa trên các dữ liệu phổ khối lượng và cộng hưởng từ hạt nhân kết hợp so sánh với dữ liệu phổ được công bố trong tài liệu tham khảo. Đây là 2 hợp chất lần đầu tiên được phân lập từ lá cây dâu thu hái tại Việt Nam. Description:  tr. 45-50 URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/60717
Đọc thêm