Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices

Title: Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices
Authors: D.T. Huong Giang
N.H. Duc
G. Agnus
T. Maroutian
P. Lecoeur
Keywords: Piezoelectric;Clampedeclamped beam;String based MEMS;CeV characteristics;Optical interferometer profiler
Issue Date: 2016
Publisher: ĐHQGHN
URI: http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/58322
String based MEMS devices recently attract world technology development thanks to their advantages over cantilever ones. Approaching to this direction, the paper reports on the micro-fabrication and characterization of free-standing doubly clamped piezoelectric beams based on heterostructures of Pd/ FeNi/Pd/PZT/LSMO/STO/Si. The displacement of strings is investigated in both static and dynamic mode. The static response exhibits a bending displacement as large as 1.2 am, whereas the dynamic response shows a strong resonance with a high quality factor of around 35 depending on the resonant mode at atmospheric pressure. These findings are comparable with those observed in large dimension membrane and cantilever based MEMS devices, which exhibit high potentials in variety of sensor and resonant actuator applications

Nhận xét

Đăng nhận xét

Bài đăng phổ biến từ blog này

Nghiên cứu phân lập và định lượng cryptotanshinon từ cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.) phục vụ công tác đánh giá chất lượng dược liệu đan sâm Cryptotanshinon;Cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.);Dược học

Title:  Nghiên cứu phân lập và định lượng cryptotanshinon từ cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.) phục vụ công tác đánh giá chất lượng dược liệu đan sâm Authors:  Đặng, Thị Ngần Keywords:  Cryptotanshinon;Cây đan sâm (Salvia miltiorrhiza Bunge.);Dược học Issue Date:  2017 Publisher:  H. : ĐHQGHN, Khoa Y - Dược Abstract:  Chiết xuất, phân lập và xác minh cấu trúc cryptotanshinon từ rễ đan sâm thu hái ở Lào Cai, đồng thời xây dựng và thẩm định được phương pháp phân tích cryptotanshinon sử dụng HPLC. Description:  63 tr. URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/55106
Đọc thêm

Ảnh hưởng của môi trường dinh dưỡng đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp Poly (3-Hydroxybutyrate) của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199

Title:  Ảnh hưởng của môi trường dinh dưỡng đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp Poly (3-Hydroxybutyrate) của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199 Authors:  Doan Van, Thuoc Luu Thi, Hoi Keywords:  polyhydroxyalkanoate;poly(hydroxybutyrate);polymer;vi khuẩn ưa mặn;Yangia sp. NĐ199 Issue Date:  2015 Publisher:  ĐHQGHN Series/Report no.:  Tập 31, Số2 (2015) 67-74; URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/943 Trong nghiên cứu này sự ảnh hưởng của các yếu tố dinh dưỡng nhưKH2PO4, MgSO4 và cao nấm men đến sự sinh trưởng và sinh tổng hợp poly(3-hydroxybutyrate) (PHB) của chủng vi khuẩn Yangiasp. NĐ199 đã được lần lượt nghiên cứu. Kết quả nghiên cứu chỉ ra rằng nồng độ 0.85 g/l MgSO4, 0.55 g/l KH2PO4, và 1.5 g/l cao nấm men là điều kiện dinh dưỡng phù hợp cho sự sinh trưởng và sinh tổng hợp PHB của chủng vi khuẩn Yangia sp. NĐ199. Ở điều kiện này khối lượng tế bào khô khoảng 5 g/l với hàm lượng PHB khoảng 77.5% đã đạt được sau 48 h nuôi cấy trên ...
Đọc thêm

Exploring different strategies for imbalanced ADME data problem: case study on Caco-2 permeability modeling

Title:  Exploring different strategies for imbalanced ADME data problem: case study  on Caco-2 permeability modeling Authors:  Le, Thi Thu Huong Keywords:  ADME modeling;Caco-2 cell permeability;Biopharmaceutics classification system; Support vector machine;Cost-sensitive learning;Resampling technique Issue Date:  2015 Publisher:  Springer URI:  http://repository.vnu.edu.vn/handle/VNU_123/11505 In many absorption, distribution, metabolism, and excretion (ADME) modeling problems, imbalanced data could negatively affect classification performance of machine learning algorithms. Solutions for handling imbal-anced dataset have been proposed, but their application for ADME modeling tasks is underexplored. In this paper, var-ious strategies including cost-sensitive learning and resam-plingmethodswere studied to tackle themoderate imbalance problem of a large Caco-2 cell permeability database. Simple physicochemical molecular descriptors were utiliz...
Đọc thêm